Proces metalnog jetkanja

Jedan od ključnih koraka u integriranom proizvodnji krugova je uklanjanje tankih slojeva filma koji nije prekriven opiru i dobiti uzorak na tankom filmu koji je potpuno u skladu sa opiljujućim filmom .
U procesu proizvodnje integriranih krugova, serija finih operacija, kao što su poravnavanje maska, izloženosti i razvoja, da precizno repliciraju željeni uzorak na opisu srednjeg sredstva ., visoko precizne grede mogu se izravno koristiti za izradu željenog uzorka na opiru filma .
Nakon završetka ovog koraka, obrazac se odmah prebacuje na dielektrični tanki film (poput silikonskog oksida, polikristalnog silikona ili metalnog tankog filma (poput aluminijuma i njegovih legura) stvarajući tankoslojni uzorak na tankom sloju filmova koji je u potpunosti u skladu sa zahtjevima za dizajn .

Proces jedrenja igra ključnu ulogu u ovom procesu, selektivno uklanjajući nezaštićeni tanki filmski sloj kroz hemijsku, fizičku ili kombinaciju obje metode, čime se formira uzorak na tankim filmu koji je identičan na opilju na slici .Jezgra tehno tehnologije leži u njenoj selektivnosti, odnosno samo uklanjanje dijelova koje nisu prekrivene otporom, zadržavajući dijelove zaštićene otporom .
Tehnologija jetkanja uglavnom se podijeljena u dvije vrste: suho jetkanje i mokro jetkanje .Suho jetkanje uglavnom koristi reaktivne gasove i plazmu za jetkanje, dok vlažno ječeno uglavnom postiže eting hemijskim reakcijama između hemijskih reagenata i materijala, obično u tečnom okruženju, koristeći hemijska rješenja za selektivno rastvaranje tankog filmskih materijala .
Ove dvije metode jetkanja imaju svoje prednosti i nedostatke . u praktičnim primjenama, oni bi trebali biti odabrani i optimizirani prema specifičnim potrebama kako bi se osiguralo da se dobijeni završni tanki obrazac sloja ispuni zahtjeve dizajna ispunjava zahtjeve za dizajn.